基于五棱镜扫描技术测试大口径平面镜的系统设计

• 作者: 韩昌元 马冬梅
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径平面镜面形测试 五棱镜误差 扫描机构导向精度 轮廓图拼接
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 测试系统与组件
• 页码范围: 90-95
• 页数: 6页
• 分类号: TH702
• 字数: 2783字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7300.2007.11.024

摘要

根据五棱镜扫描测试技术建立了大口径平面镜面形测试系统.对测试系统结构的设计与组成进行了阐述,分析了在实现大口径轮廓扫描时,主要影响测试精度的因素和影响形式;通过计算给出了五棱镜制造误差与扫描机构导向误差对角度测试的综合影响趋势,得出了轮廓测试过程中法线角度改变量测试误差主要受导轨精度影响的结论.在导轨导向精度设计为俯仰与偏摆角10″、滚动偏角20″时,系统测试光线角度变化量在扫描方向上最大为0.000 969 694″,可满足测试要求(系统测角精度为0.02″).通过计算机模拟,进行了多条带区域轮廓图拼接实验,与干涉图比对,验证了该系统的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩昌元	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	36	791	17.0	27.0
2	马冬梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	48	388	11.0	15.0