LiAlO2衬底上ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备和表征

• 作者: 周健华 周圣明 夏国栋 宋涛 林辉 王军 董亚明 邹军 黄涛华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 LiAlO2 ZnO XRD SEM
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 869-873
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2498字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.04.033

摘要

采用溶胶凝胶法在LiAlO2(302)衬底上制备了ZnO薄膜.用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对样品的结构和形貌进行了表征.XRD结果表明,随着热处理温度的升高(350℃、450℃、550℃、600℃、800℃),所得到的薄膜分别为单相ZnAl2O4(350℃),ZnAl2O4和ZnO的混合相(450℃)以及单相的ZnO(550℃、600℃、800℃),并且ZnO薄膜c轴择优取向的生长趋势随温度升高相应明显.SEM图像显示,随着热处理温度的升高,ZnO薄膜的粒径相应变大.