薄膜热扩散率测量方法

• 作者: 戚丽娜 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 热扩散率 热容 相位延迟 幅值 薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 1175-1180
• 页数: 6页
• 分类号: TB43|O484.4
• 字数: 4923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.04.013

摘要

总结了测量薄膜热扩散率常用的方法和结构,给出了薄膜热扩散率测试的进展状况.热扩散率是材料重要的热特性参数,通过比较各种测试结构和测试方法,分析这些方法的优缺点,我们希望提出一种在线提取多晶硅薄膜热扩散系数的简单测量模型和方法,对工艺线进行实时监测,而且对于图形参数的提取也有重要意义.