激光化学气相沉积(连载之一)

• 作者: 张魁武
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 激光化学气相沉积 激光诱导 激光辅助 光解激光 热解激光 光热共解激光
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 讲座
• 页码范围: 118-126
• 页数: 9页
• 分类号: TG156.99|TB43
• 字数: 7718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2007.06.033

摘要

本讲座介绍了激光化学气相沉积的基本原理,较详细地讲述了制备金属薄膜、金刚石薄膜、类金刚石薄膜、氢化非晶硅薄膜、化合物半导体薄膜及绝缘体薄膜等所用的激光器、工艺参数以及薄膜的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张魁武		3	12	2.0	3.0