硬盘微晶玻璃基板的纳米金刚石抛光

• 作者: 刘学璋 王柏春 翟海军 许向阳 谢圣中
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 抛光 纳米金刚石 微晶玻璃基板
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 155-158
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.733|TQ171.684
• 字数: 2228字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.03.011

摘要

应用经良好分散的纳米金刚石对硬盘微晶玻璃基板进行抛光,获得了亚纳米级表面(0.618 nm).分析了纳米金刚石抛光的行为,展望了纳米金刚石在超精密抛光领域的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王柏春	长沙矿冶研究院研发中心	20	294	10.0	17.0
2	许向阳	长沙矿冶研究院研发中心	22	378	13.0	19.0
3	刘学璋	长沙矿冶研究院研发中心	7	48	4.0	6.0
4	谢圣中	长沙矿冶研究院研发中心	11	125	6.0	11.0
5	翟海军	长沙矿冶研究院研发中心	9	124	5.0	9.0