SnO2纳米颗粒气体传感器在CO2气体检测中的应用

• 作者: 丁占来 王凌英
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 化学
• 关键词: SnO2纳米颗粒 气体传感器 滴液沉积法 CO2气体 敏感性
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 114-116
• 页数: 3页
• 分类号: O614.4|TN304
• 字数: 2094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.12.038

摘要

将有机金属先驱体[Sn(N(CH3)2)2]2在适当的条件下热解,制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒.然后,在气体传感器的多晶硅层上原位沉积纳米颗粒悬浮液得到纳米颗粒多孔薄膜传感层,并探索了SnO2纳米颗粒传感器原位掺杂Mg,K,Ba元素,检测气体传感器在不同CO2体积分数下的敏感性.结果表明:此方法制得的传感器对CO2气体敏感性不佳,尚需进一步研究掺杂元素和掺杂工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凌英		2	8	2.0	2.0
2	丁占来		19	275	9.0	16.0