离子束辅助对真空电弧沉积掺氮二氧化钛薄膜特性的影响

• 作者: 成晓玲 曾鹏 胡社军 谢光荣
• 来源期刊: 中山大学学报(自然科学版)
• 学科: 化学
• 关键词: 离子束辅助沉积 二氧化钛薄膜 氮掺杂 光催化
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 能源与环境材料国际研讨会专辑
• 页码范围: 203-205,214
• 页数: 4页
• 分类号: O614
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0529-6579.2007.z1.091

摘要

在氮氧混合气体中, 通过离子束辅助,采用真空电弧沉积了氮掺杂的TiO2薄膜样品,研究了离子束流对掺氮二氧化钛薄膜的结构、光学性质和光催化性能的影响.实验结果表明:离子束辅助沉积的薄膜为非晶态结构,薄膜经500℃热处理后向锐钛矿转变,且锐钛矿的(101)面的峰最强.通过UV分析发现离子束辅助沉积的掺氮二氧化钛薄膜的吸收峰发生红移,其光催化活性随着离子束流的增大而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾鹏	广东工业大学材料与能源学院	64	572	13.0	20.0
2	谢光荣	广东工业大学材料与能源学院	82	729	14.0	23.0
3	成晓玲	广东工业大学分析测试中心	84	1166	15.0	32.0
4	胡社军	华南师范大学物理与电信工程学院	59	963	16.0	29.0