国内首台“光刻机”将于今年12月诞生合肥

• 来源期刊: 合肥科技
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 合肥 国内 自主知识产权 经济开发区 半导体
• 年，卷（期）: hfkj_2007,（10）
• 页码范围: 16
• 页数: 1页
• 分类号: TN305.7

摘要

具有世界领先水平、完全属于自主知识产权的国内第一台直写式“光刻机”将于今年12月诞生合肥。 记者从落户合肥经济开发区的芯硕半导体（合肥）有限公司获悉，该公司生产的两台直写式“光刻机”样机已进入最后的装机阶段，完成了90％，12月底将面世。据芯硕公司剖总裁胡弈宁博士介绍，