硅基PIN光电探测器的设计与模拟

• 作者: 张宇 李俊一 李欢 杨广华 牛萍娟
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单片集成 光接收器 光电探测器 Silvaco
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 753-756
• 页数: 4页
• 分类号: TN382
• 字数: 1842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.09.005

摘要

介绍了单片集成硅光接收器的研究背景,阐述了硅光电探测器的工作机理.设计了一种应用于单片集成硅光接收器的PIN结构光电探测器,并用Silvaco软件对光电探测器的器件结构、光谱响应、响应电流及其随入射光功率的变化、器件的暗电流分别进行了模拟,对模拟结果进行了分析.设计了该光电探测器的版图,给出了其主要工艺流程,搭建了其光响应谱测试电路.最后对研究结果进行了总结.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛萍娟	天津工业大学信息与通信工程学院	123	617	13.0	17.0
2	杨广华	天津工业大学信息与通信工程学院	25	94	6.0	8.0
3	张宇	天津工业大学信息与通信工程学院	17	107	5.0	10.0
4	李俊一	天津工业大学信息与通信工程学院	4	18	3.0	4.0
5	李欢	天津工业大学信息与通信工程学院	5	27	3.0	5.0