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摘要:
本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统.该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm.信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰.实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-Ⅱ所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性.并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化.
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文献信息
篇名 光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理
来源期刊 光电工程 学科 工学
关键词 光杠杆 纳米位移测量 PSD 信号处理
年,卷(期) 2007,(7) 所属期刊栏目 光电测量
研究方向 页码范围 30-34,38
页数 6页 分类号 TB851
字数 3089字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.07.007
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 杨国光 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 91 1226 21.0 30.0
2 刘晓旻 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 5 57 4.0 5.0
3 吴宇 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 7 216 6.0 7.0
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研究主题发展历程
节点文献
光杠杆
纳米位移测量
PSD
信号处理
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电工程
月刊
1003-501X
51-1346/O4
大16开
四川省成都市双流350信箱
1974
chi
出版文献量(篇)
4776
总下载数(次)
5
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