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光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理
光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理
作者:
刘晓旻
吴宇
杨国光
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光杠杆
纳米位移测量
PSD
信号处理
摘要:
本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统.该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm.信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰.实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-Ⅱ所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性.并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化.
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文献信息
篇名
光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理
来源期刊
光电工程
学科
工学
关键词
光杠杆
纳米位移测量
PSD
信号处理
年,卷(期)
2007,(7)
所属期刊栏目
光电测量
研究方向
页码范围
30-34,38
页数
6页
分类号
TB851
字数
3089字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1003-501X.2007.07.007
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
杨国光
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
91
1226
21.0
30.0
2
刘晓旻
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
5
57
4.0
5.0
3
吴宇
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
7
216
6.0
7.0
传播情况
被引次数趋势
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研究主题发展历程
节点文献
光杠杆
纳米位移测量
PSD
信号处理
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电工程
主办单位:
中国科学院光电技术研究所
中国光学学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1003-501X
CN:
51-1346/O4
开本:
大16开
出版地:
四川省成都市双流350信箱
邮发代号:
创刊时间:
1974
语种:
chi
出版文献量(篇)
4776
总下载数(次)
5
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