光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理

• 作者: 刘晓旻 吴宇 杨国光
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光杠杆 纳米位移测量 PSD 信号处理
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 30-34,38
• 页数: 6页
• 分类号: TB851
• 字数: 3089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.07.007

摘要

本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统.该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm.信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰.实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-Ⅱ所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性.并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨国光	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0
2	刘晓旻	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	5	57	4.0	5.0
3	吴宇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	7	216	6.0	7.0