仿真技术在晶圆制造光刻区派工中的应用

• 作者: 孟志雷 宁凝 钱省三
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻区 派工法则 系统仿真 晶圆制造
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 现代管理
• 页码范围: 750-752
• 页数: 3页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 2472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.09.004

摘要

对光刻区的派工法则进行了分析研究.在传统的先来先服务规则的基础上,根据光刻区的生产特性及实际情况,以最小化完工时间为目标,主要考虑到减少设备的调整时间,提出一种启发式综合派工法则.对某晶圆制造厂的一组光刻设备进行实例研究,运用Extend仿真软件对传统先来先服务规则和启发式综合派工法则分别建立仿真模型,通过仿真得出主要生产性能参数.结果表明,启发式综合派工法则明显优于现有的先来先服务规则.