AFM的纳米硬度测试与分析

• 作者: 史立秋 孙涛 张顺国 董申 闫永达
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 纳米硬度 纳米压痕 纳米原位测量仪
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 725-729
• 页数: 5页
• 分类号: TH742.9
• 字数: 2453字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.05.017

摘要

基于原子力显微镜(AFM)和金刚石针尖建立了一套纳米压痕测量系统.通过向系统发送控制电压使金刚石针尖在完成加载和卸载全过程的同时进行实时的数据采集并直接绘出载荷-压深曲线.利用该系统,对单晶铝和单晶铜薄膜材料进行了单点压痕实验,用美国Hysitron公司的纳米原位测量仪(TriboIndenter)做了验证试验.实验结果表明,该系统适合测量较软材料的纳米硬度.分析了基体材料对薄膜硬度和弹性模量的影响,在薄膜厚度低于5～10倍压入深度时,基体对薄膜材料的力学性能影响很大;并根据获得的载荷-压深曲线分析得出由于尺度效应的影响,随着压痕深度的减小,薄膜的硬度值呈明显的上升趋势,弹性模量没有这个趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董申	哈尔滨工业大学精密工程研究所	232	4378	35.0	50.0
2	孙涛	哈尔滨工业大学精密工程研究所	124	1024	17.0	23.0
3	闫永达	哈尔滨工业大学精密工程研究所	34	237	9.0	13.0
4	史立秋	哈尔滨工业大学精密工程研究所	40	122	6.0	9.0
8	张顺国	哈尔滨工业大学精密工程研究所	8	101	5.0	8.0