基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法

• 作者: 巴音贺希格 朱洪春
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 刻划光栅 槽形函数拟合 衍射特性 分析方法
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 唯象论的经典领域
• 页码范围: 3893-3899
• 页数: 7页
• 分类号: O37
• 字数: 5452字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2007.07.042

摘要

作为对光栅刻划工艺的理论指导,提出了一种基于槽形函数拟合的机械刻划光栅衍射特性分析方法,解决了高刻线密度光栅衍射效率测量值与理论值偏差较大的问题.以刻线密度为1200 l/mm的紫外光栅为例,对光栅主截面上的实际槽形纵横坐标扫描取值,进而拟合出槽形函数,经理论计算找到了导致衍射效率偏低的原因,并通过改进工艺,使光栅衍射效率提高了约20%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴音贺希格	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	112	817	16.0	23.0
2	朱洪春	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	30	3.0	3.0