CVD参数数据采集系统

• 作者: 朱武 褚向前
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 8098单片机 数据采集系统 串行通讯
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 119-120,96
• 页数: 3页
• 分类号: TP274
• 字数: 1200字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7241.2007.10.042

摘要

在CVD金刚石膜生长过程中,衬底温度、热丝电流、反应室真空度和气源流量等是其重要的工艺参数.针对CVD金刚石膜沉积生长中四个重要的工艺参数,本文设计了数据采集系统.选用片内集成模拟量采集模块的8098单片机为下位机,上位机采用工控机,通过RS232串口进行通信.该主从式数据采集系统,硬件配置简单,抗干扰能力强,软件编程方便,人机界面友好.该系统已通过调试,运行良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱武	合肥工业大学机械与汽车工程学院	74	744	13.0	24.0
2	褚向前	合肥工业大学机械与汽车工程学院	17	59	4.0	7.0