ZnO薄膜的透射光谱研究

• 作者: 万步勇
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO 薄膜 透射光谱 光学性能
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 实验装置与技术
• 页码范围: 18-19
• 页数: 2页
• 分类号: TB383
• 字数: 3440字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2007.06.009

摘要

采用磁控溅射制备了ZnO薄膜,分光光度计测量了其透射光谱,采用Sellmeir色散关系拟合ZnO薄膜的折射率,其在可见一近红外区域近似为1.90,光学带隙为3.25～3.37ev.退火处理大大提高薄膜光学性能和质量,并对其结果进行了分析和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万步勇	重庆师范大学物理与信息技术学院	9	47	4.0	6.0