退火温度对6H-SiC衬底上ZnO薄膜发光性质的影响

• 作者: 傅竹西 孙利杰 张伟风 张杨 郑海务 顾玉宗
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 6H-SiC ZnO薄膜 光致发光 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 1279-1282
• 页数: 4页
• 分类号: O472
• 字数: 2210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.06.016

摘要

采用溶胶-凝胶方法,在6H-SiC衬底上制备ZnO薄膜.X射线衍射结果表明薄膜是c轴取向的,具有六方纤锌矿多晶结构.研究了退火温度对ZnO薄膜发光特性的影响.发现在650℃退火温度下,观察到近带边紫外发射和可见光发射并且紫外发光强度大于可见光发射.随着退火温度的提高,紫外峰强度减弱直至消失,而绿光发射强度先增加而后降低.对退火温度引起ZnO薄膜发光性质改变的机制进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾玉宗	河南大学物理与电子学院微系统物理研究所	52	384	13.0	17.0
2	傅竹西	中国科学技术大学物理系	53	808	17.0	27.0
3	郑海务	河南大学物理与电子学院微系统物理研究所	21	112	5.0	9.0
5	张伟风	河南大学物理与电子学院微系统物理研究所	66	248	8.0	10.0
8	张杨	河南大学物理与电子学院微系统物理研究所	6	13	2.0	3.0
9	孙利杰	中国科学技术大学物理系	8	42	4.0	6.0