开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关

• 作者: 宋朝晖 李昕欣 王跃林 贾孟军
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 冲击加速度开关 开关点电可调节 锁定 机电耦合
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1295-1301
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 3559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.08.025

摘要

介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功能.文中分析了这种开关的准静态加速度静力学平衡条件和在阶跃冲击加速度输入情况下的响应特性,并通过CoventorWare软件模拟,得到悬臂梁型开关在各种加速度输入信号(阶跃、脉冲和半正弦)情况下的瞬态响应过程.开关的实际阈值范围为1000~5000g,响应速度小于60μs.采用MEMS技术制造开关,并通过冲击加速度测试验证了设计结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李昕欣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	52	280	11.0	13.0
2	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	84	623	14.0	18.0
3	宋朝晖	中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室	4	98	4.0	4.0
4	贾孟军		1	19	1.0	1.0