大口径非球面Ronchi光栅测量方法

• 作者: 伍凡 陈强 雷柏平
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 郎奇光栅 郎奇条纹 补偿光栅 大口径非球面
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 140-144
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 3295字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.04.031

摘要

在对非球面加工过程中常用检测方法的优缺点进行比较的基础上,介绍了Ronchi光栅法的系统组成、工作原理和数据处理方法,并进行了光栅频率和灵敏度分析.通过对Ronchi光栅的频率、灵敏度的分析比较,发现可以通过改变其频率来实现大口径非球面不同加工阶段2～200 μm范围内的误差检测.该方法制作简单,使用方便.它的深入研究,将为大口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
2	陈强	中国科学院光电技术研究所	80	815	18.0	25.0
3	雷柏平	中国科学院光电技术研究所	4	51	4.0	4.0