国内首台完全自主知识产权“光刻机”合肥面世

• 来源期刊: 合肥科技
• 学科: 经济
• 关键词: 自主知识产权 光刻机 合肥 国内 经济开发区 亚微米级 进口
• 年，卷（期）: hfkj_2007,（12）
• 页码范围: 6
• 页数: 1页
• 分类号: F426.471

摘要

12月25日，合肥经济开发区管委会对外宣布，具有世界领先水平”、完全属于自主知识产权的国内第一台无掩膜式（直写式）“光刻机”在合肥研制成功，这标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面被打破。