单刀双掷RF MEMS开关的研究与设计

• 作者: 王志功 黄继伟
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单刀双掷 RF MEMS 折叠梁 横向接触
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 604-609
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 3882字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.04.025

摘要

介绍了一种基于横向金属接触的DC-5GHz单刀双掷RF MEMS开关的研究与设计.横向金属接触开关包括了一套有限的共面波导(FGCPW)传输线和左右摆动的悬臂梁.为了降低开启电压,设计了一种曲折型的折叠梁结构,通过理论分析与仿真实验验证了该结构的可行性,并利用MetalMUMPs工艺加以实现.测试结果显示,该开关在5GHz处的插入损耗为0.8dB,回波损耗大于20dB,隔离度为40dB.测得最低开启电压为33V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志功	东南大学射频与光电集成电路研究所	342	2153	20.0	29.0
2	黄继伟	东南大学射频与光电集成电路研究所	10	27	3.0	4.0