大位移压电陶瓷驱动器的有限元分析

• 作者: 刘向锋 崔艳梅 高志
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 有限元分析 机电耦合 驱动器
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 2239-2242
• 页数: 4页
• 分类号: TH7|TN4
• 字数: 3100字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.10.022

摘要

为研究压电陶瓷驱动器的驱动效能,制作了大位移压电陶瓷驱动器.基于压电陶瓷材料的机电耦合特性,应用动力学有限元分析方法,将大位移压电陶瓷驱动器离散成一系列四面体单元,分别进行了力学和电学分析.根据压电陶瓷的基本压电方程,耦合了位移模式与电场模式的有限元模型,建立了压电陶瓷驱动器的有限元动力学模性.利用有限元分析软件ANSYS中的直接耦合场进行分析求解,分析结果与试验测量值取得了良好的一致,证实了利用压电陶瓷双晶片弯曲变形,制作的大位移压电陶瓷驱动器结构设计的合理性.该分析方法对压电陶瓷驱动器的设计、制造与测试具有理论指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘向锋	清华大学精密仪器与机械学系	42	373	12.0	18.0
2	高志	清华大学精密仪器与机械学系	25	160	8.0	12.0
3	崔艳梅	清华大学精密仪器与机械学系	4	70	3.0	4.0