元器件表面缺陷新型检测装置

• 作者: 宋晓辉 杨清风
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面缺陷 伤痕 裂缝 平行光束 次摆线扫描
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 改进与制作
• 页码范围: 79-80
• 页数: 2页
• 分类号: TB9
• 字数: 773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2007.05.027

摘要

巧用光学构件形成平行光束回转,使结构简单而小型化,脉冲检测采用次摆线扫描,缩短了检测时间,利用光一次回转周期的脉冲振荡模式,能识别被测元器件的不同表面缺陷(伤痕,裂纹,裂缝等)、分布密度及其交错状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋晓辉		12	59	4.0	7.0
2	杨清风		5	5	2.0	2.0