衬底温度对PLD方法制备的ZnO薄膜的光学和电学特性的影响

• 作者: 刘维峰 孙景昌 张贺秋 胡礼中 赵子文 霍炳至 骆英民
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 脉冲激光沉积 衬底温度
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 129-133
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 字数: 2328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.029

摘要

利用脉冲激光沉积法(PLD)在c面蓝宝石衬底上制备了ZnO薄膜并对其进行了X射线衍射(XRD)、反射式高能电子衍射(RHEED)、光致发光(PL)谱和霍尔(Hall)测试.RHEED和XRD分析表明,温度在350℃至550℃之间时,ZnO薄膜的结晶质量随着衬底温度的升高而提高,当衬底温度进一步升高后,ZnO薄膜的结晶质量开始下降.四个样品中,衬底温度为550℃的样品具有最清晰的规则点状RHEED图像和半高宽最窄的(0002)衍射峰.PL谱和Hall测量的结果表明,衬底温度为550℃的样品还具有最好的发光性质和最大的霍尔迁移率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡礼中	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	28	160	8.0	11.0
2	张贺秋	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	14	41	4.0	6.0
3	孙景昌	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	3	24	3.0	3.0
4	骆英民	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	10	67	6.0	8.0
5	刘维峰	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	8	100	6.0	8.0
6	赵子文	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	17	2.0	2.0