压电微音叉扫描探针显微镜测头研究

• 作者: 黄强先
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电微音叉 扫描探针 扫描探针显微镜
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 74-79
• 页数: 6页
• 分类号: TH71|TH89
• 字数: 2890字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2007.01.015

摘要

压电微音叉具有良好的谐振特性,并易于实现其振动的检测.利用这些特性,与钨探针结合,构成了一种新型的表面轮廓扫描测头.该新型测头与X-Y压电工作台结合,采用与TM-AFM相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜.介绍了压电微音叉扫描测头的构成、工作原理及主要特性,给出了所构成的扫描探针显微镜测量系统.通过实验及其结果,证明了新型测头具有高垂直分辨率、低破坏力等优点.除此之外,由于采用了有效长度大的钨探针,使大台阶微观表面的测量成为可能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄强先	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	46	319	9.0	15.0