基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
将研究辐射换热问题的区域法引入壁面间的辐射换热计算,建立了MOCVD壁面温度的计算模型,应用该模型计算了径向三重流MOCVD反应器的壁面温度分布.结果表明,在反应器的不同部位,壁面温度分布的规律有所不同.当径向三重流MOCVD反应器处于自然对流的环境时,壁面的最大温差可达123K,如此大的温差将会对反应器内的气体流动和沉积过程产生影响;为了使反应器的温度保持在较为恒定的低温,外壁面的强制对流换热系数应大于84W/(m 2·K).
推荐文章
壁面特性对径向三重流MOCVD反应器壁面温度分布的影响
MOCVD
石英
辐射特性
壁面温度
影响
径向三重流MOCVD反应器输运过程的数值模拟
MOCVD
输运过程
热对流
数值模拟
径向流动MOCVD输运过程的数值模拟和反应器优化
金属有机化学气相沉积
反应器
对流
扩散
数值模拟
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 径向三重流MOCVD反应器壁面温度的数值模拟
来源期刊 半导体学报 学科 工学
关键词 MOCVD 数值模拟 区域法 壁面温度
年,卷(期) 2007,(1) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 127-130
页数 4页 分类号 TN304.054
字数 2539字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.01.027
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 聂宇宏 江苏科技大学机械与动力工程学院 39 216 8.0 11.0
2 姚寿广 江苏科技大学机械与动力工程学院 88 523 13.0 19.0
3 刘勇 江苏科技大学机械与动力工程学院 11 59 4.0 7.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (5)
共引文献  (25)
参考文献  (10)
节点文献
引证文献  (12)
同被引文献  (10)
二级引证文献  (3)
1991(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1994(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1995(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
1997(3)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(1)
1998(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1999(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2000(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2005(3)
  • 参考文献(3)
  • 二级参考文献(0)
2007(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2007(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2008(3)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(0)
2009(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2011(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2012(3)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(1)
2013(2)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(1)
2014(2)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(0)
2017(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2019(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
MOCVD
数值模拟
区域法
壁面温度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
总被引数(次)
35317
  • 期刊分类
  • 期刊(年)
  • 期刊(期)
  • 期刊推荐
论文1v1指导