溶胶电泳沉积法制备PZT压电厚膜及其性能研究

• 作者: 刘维华 周静 李君 陈文 魏长松
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电泳沉积 溶胶 PZT 压电膜
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 字数: 2278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.009

摘要

采用溶胶-凝胶方法制备Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)纳米粉末,将此粉末按一定比例加入到同成分PZT溶胶中,采用溶胶-电泳沉积技术在ITO玻璃衬底上制备PZT厚膜.采用X射线衍射分析、SEM及HP4294A阻抗分析仪等对PZT膜进行了微观结构和介电性能测试,研究了电泳电压、热处理温度及电泳时间对PZT膜结构及膜厚的影响,结果表明,在1V电压下进行电泳,600℃热处理20min,可以得到表面均匀平整的纯钙钛矿结构PZT膜,以(110)择优取向,通过控制电泳时间可有效控制膜的厚度.获得了膜厚为30μm、介电常数达到ε33T/ε0=781、介电损耗为tanδ=0.0083、剩余极化与矫顽电场强度分别为24.6μC/cm2与61.9kV/cm铁电性能较好的PZT膜材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文	武汉理工大学材料科学与工程学院	216	1824	21.0	26.0
2	周静	武汉理工大学材料科学与工程学院	122	928	18.0	22.0
3	李君	武汉理工大学材料科学与工程学院	16	160	7.0	12.0
4	刘维华	武汉理工大学材料科学与工程学院	4	22	3.0	4.0
5	魏长松	武汉理工大学材料科学与工程学院	2	9	1.0	2.0