气压对金刚石膜生长的影响

• 作者: 朱莉 毕冬梅 赵利军
• 来源期刊: 长春大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 气压 膜的质量
• 年，卷（期）: ccdxxbb_2007,（10）
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1

摘要

采用电子铺助热灯丝化学气相沉积(EA-CA)方法沉积大面积金刚石膜,在金刚石膜的沉积过程中,气压对金刚石膜沉积的影响会直接影响着金刚石膜的生长和质量。用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征。