光栅楔形平板激光干涉法任意转角测量系统误差分析

• 作者: 赵辉 金增伟 陶卫
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅楔形平板 激光干涉 任意转角 误差分析
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 1982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2007.08.009

摘要

将光栅楔形平板加入到激光干涉测角系统中,实现任意转角的高精度测量.本文全面详细的分析了系统的误差因素,并进行了实验验证.结果表明,采用该系统测量任意转角,重复性达到0.63",与理论分析结果相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵辉	上海交通大学仪器科学与工程系	105	1032	17.0	29.0
2	陶卫	上海交通大学仪器科学与工程系	53	563	11.0	23.0
3	金增伟	上海交通大学仪器科学与工程系	4	16	3.0	4.0