新型光学加速度传感器动力学性能设计

• 作者: 孔维军 杨佳 王军 贾书海
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加速度传感器 动力学系统 微机电系统 有限元方法
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 95-97,100
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.14
• 字数: 2156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.09.031

摘要

针对一种新型光学加速度传感器设计了一种简单实用的微弹性机械结构,它是通过MEMS工艺在硅片上加工出来.通过能量法和有限元模拟法(ANSYS8.0)对弹性臂的弹性系数和动力学振动系统的一阶固有频率进行了分析与模拟,根据传感器的性能要求选取了微弹性机械结构的参数,并对传感器的性能进行了分析模拟.结果表明:设计是合理可行的,根据参数确定传感器的量程约为±395m/s2,测量频率约为1～4.5kHz.