WO3气敏薄膜的膜厚对气体响应时间的影响

• 作者: 冯有才 尹英哲 胡明
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: WO3薄膜 响应时间 气体传感器
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.92
• 字数: 2302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.06.004

摘要

用简单的模型分析了薄膜气体传感器敏感材料的膜厚对气体响应时间的影响,该模型适用于分析WO3薄膜气体传感器的敏感特性.薄膜气体传感器的敏感特性依赖于气体原子在薄膜内的扩散和与气敏材料的响应;而气体原子在薄膜内的扩散是由薄膜厚度决定的.经过推导得出理论上WO3薄膜对NH3的敏感特性,并将其与实验所得的数据进行比较.最后,给出了WO3薄膜气体传感器的气敏特性与气体在其膜内扩散和膜厚的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡明	天津大学电子信息工程学院	139	1336	19.0	28.0
2	冯有才	天津大学电子信息工程学院	8	46	4.0	6.0
3	尹英哲	天津大学电子信息工程学院	8	46	4.0	6.0