基于La0.7Sr0.3FeO3的微结构乙醇气体传感器的研制

• 作者: 刘丽 张彤 徐宝琨 漆奇 陈维友
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: La0.7Sr0.3FeO3 纳米材料 微结构 低功耗 乙醇 气体传感器
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 610-613
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.04.026

摘要

以La0.7Sr0.3FeO3为敏感材料,设计制成了一种新型的共平面结构气体传感器.基于有限元分析软件Ansys对该传感器结构进行了优化设计.实验测得该传感器对于500ppm浓度乙醇气体的灵敏度为8.0,功耗为261mW,是同种敏感材料烧结型传感器功耗的2/3,响应时间约为1.5s,恢复时间约为2.5s,是一种功耗低、灵敏度高、稳定性好的微结构乙醇气体传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张彤	吉林大学电子科学与工程学院	40	218	8.0	13.0
2	刘丽	吉林大学电子科学与工程学院	177	1268	17.0	27.0
6	徐宝琨	吉林大学电子科学与工程学院	37	616	8.0	24.0
7	陈维友	吉林大学电子科学与工程学院	24	82	5.0	8.0
8	漆奇	吉林大学电子科学与工程学院	1	8	1.0	1.0