通孔结构阳极氧化铝湿敏传感器的制备与性能表征

• 作者: 凌志远 李屹 王金池 陈烁烁
• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿敏传感器 阳极氧化铝 多孔电极
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1396-1399
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0023-074X.2007.12.006

摘要

以0.5 mol/L草酸为电解液, 在40 V直流电压、0(5℃下采用二步氧化法制备通孔阳极氧化铝膜片, 用射频磁控溅射在膜片上下表面沉积金电极, 成功地制备了一种通孔结构湿敏传感器. 湿度-阻抗特性测试显示, 该传感器不但可在12%(97%的相对湿度范围内具有良好的阻抗-湿度线性变化关系, 而且具有响应恢复速度快、重复稳定性好的特征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	凌志远	华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系	17	110	6.0	10.0
2	陈烁烁	华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系	2	8	2.0	2.0
3	王金池	华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系	2	8	2.0	2.0
4	李屹	华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系	2	8	2.0	2.0