多轴微加速度传感器的进展

• 作者: 刘妤 杨红韵 温志渝
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微加速度传感器 多轴
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TH824.4
• 字数: 3396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.04.002

摘要

微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件.随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点.基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学光电工程学院	143	1259	18.0	26.0
2	刘妤	重庆工学院汽车学院	6	64	3.0	6.0
6	杨红韵	重庆工学院汽车学院	4	28	2.0	4.0