硅微技术在导航、制导与控制中的应用及发展趋势

• 作者: 刘智平 周军 周凤岐
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 硅微敏感器 导航、制导与控制 执行机构 噪声模型
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 5-7,21
• 页数: 4页
• 分类号: V241
• 字数: 5314字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2007.03.002

摘要

主要对近几年来微机电系统的技术进步和应用情况作了介绍,特别对基于微机电技术的敏感器和执行机构在航空和航天领域的导航、制导和控制方面的应用进展作了较为详细的叙述,最后指出了MEMS技术的发展趋势和目前正在突破的关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周军	西北工业大学航天学院	548	4311	27.0	43.0
2	周凤岐	西北工业大学航天学院	170	1692	23.0	32.0
3	刘智平	西北工业大学航天学院	4	73	4.0	4.0