SiCF的热解碳涂层的制备

• 作者: 于新民 周万城 朱冬梅 罗发 赵锴
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热解碳 沉积速率 形貌 丙烯
• 年，卷（期）: 2007,（z2）
• 页码范围: 690-692
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127
• 字数: 2281字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185x.2007.z2.199

摘要

以C3H6为源气体,N2为稀释气,在800℃～1200℃温度范围内,SiC纤维上进行了热解碳的沉积.研究了沉积温度、系统压力和PN2/PC3H6对热解碳沉积速率和沉积层形貌的影响.结果表明:在沉积温度低于900℃,系统总压小于1 KPa条件下,沉积速率低,难以进行热解碳的沉积.随着沉积温度、系统压力升高,沉积速率升高,沉积层形貌发生改变.过低的PN2/PC3H6导致不均匀的热解碳沉积形貌,局部有碳颗粒的生成.沉积温度为1000℃、系统总压10 KPa左右、PN2/PC3H6为2:1的条件下可获得均匀致密的热解碳沉积层.反应热力学和动力学条件随工艺参数的改变而改变,这是热解碳沉积层形貌改变的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱冬梅	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	131	940	15.0	22.0
2	罗发	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	168	1535	19.0	30.0
3	周万城	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	206	1931	22.0	34.0
4	于新民	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	7	27	4.0	4.0
5	赵锴	西北工业大学凝固技术国家重点实验室	4	16	3.0	4.0