显微镜自动粗调焦的TennenGrad改进算法

• 作者: 余超 张明照 王伯雄 罗秀芝 郑汉卿
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 显微镜 自动调焦 粗调 调焦评价函数 调焦策略
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 784-790
• 页数: 7页
• 分类号: TP312|TH742.9
• 字数: 5149字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2007.05.027

摘要

提出了使用Sobel算子或Laplace算子做卷积,对图像像素点进行绝对值相加的TennenGrad改进算法,以及Laplace改进算法,和几种已有评价函数进行分析比较.为了判断粗调评价函数的优劣,对评价函数的判断准则进行了逐一分析,并且将平滑性、高效率、强壮性作为最主要的衡量标准.在搭建的显微镜粗调实验系统中,对较为复杂的MEMS器件-微加速度计进行粗调成像.另外,对显微成像系统的调焦策略进行分析研究,提出并比较分析了3种调焦策略,其中n点灰度比较策略是较优的策略.实验处理结果表明,改进的TennenGrad算法具有最优的粗调特性,调焦范围较大,达到了210 μm;调焦分辨率高,达到7 μm,同时调焦图像显示出曲线变得更加平滑,曲线部极值点由5个减为0个.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张明照	清华大学精密仪器与机械学系	9	113	5.0	9.0
2	王伯雄	清华大学精密仪器与机械学系	68	667	12.0	24.0
3	罗秀芝	清华大学精密仪器与机械学系	40	346	10.0	18.0
4	余超	清华大学精密仪器与机械学系	5	48	3.0	5.0
5	郑汉卿	清华大学精密仪器与机械学系	2	38	2.0	2.0