不同晶面蓝宝石和氧源对ZnO薄膜生长的影响

• 作者: 丛光伟 刘祥林 张攀峰 朱勤生 杨少延 范海波 魏鸿源
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO 蓝宝石 甲醇 XRD SEM
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 289-292
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2883字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.073

摘要

在c面和r面蓝宝石上用氧气和甲醇作为氧源分别沉积了ZnO薄膜.用X射线双晶衍射(DCXRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ZnO薄膜综合表征.证实了,面蓝宝石的表面能比c面的小,更有利于增原子的迁移,从而实现ZnO的二维生长.发现甲醇作为氧源生长的薄膜晶体质量跟氧气作为氧源的相比有较大提高,这可能源于预反应的减弱和甲醇的表面活化作用.在r面蓝宝石上用甲醇作为氧源生长出了表面平整的ZnO薄膜,其(1012)面的非对称衍射的摇摆曲线半高宽仅0.10.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏鸿源	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	4	3	1.0	1.0
2	杨少延	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	17	35	3.0	5.0
3	朱勤生	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	5	4	1.0	1.0
4	张攀峰	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	2	3	1.0	1.0
5	范海波	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	2	3	1.0	1.0
6	丛光伟	中国科学院半导体研究所材料重点实验室	1	2	1.0	1.0