CdS/CdTe太阳电池的背接触

• 作者: 冯良桓 张静全 晋勇 李卫 武莉莉 蔡亚平 蔡伟 郑家贵 雷智 黎兵
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 腐蚀 背接触层 CdTe太阳电池
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 558-562
• 页数: 5页
• 分类号: TK514
• 字数: 2627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.04.016

摘要

磷硝酸腐蚀是一种适宜于工业化生产的背表面刻蚀工艺.文中采用磷硝酸腐蚀CdTe薄膜,并用溴甲醇腐蚀作为对照实验,研究了两种腐蚀对材料性质的影响.随后用真空蒸发法分别沉积了四种背接触层,提出了适宜于工业化生产的背接触技术,并从实验和理论上对两种背接触结构的CdTe太阳电池进行了分析.