MEMS器件自动优化算法及其实现

• 作者: 李伟华 赖文滨
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS器件 自动优化算法 结构参数 固支梁
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 554-556,562
• 页数: 4页
• 分类号: TN402
• 字数: 2586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.02.054

摘要

研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以固支梁的谐振频率指标为例,通过HSPICE模拟软件,模拟其在给定结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正方法对器件进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标(5%)要求.最后采用CoventorWare软件对优化结果进行了验证.