压电陶瓷驱动微位移机构迟滞非线性改善方法研究

• 作者: 崔红娟 王宏亮 陈志华
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷驱动器 迟滞非线性 微位移机构
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 4-7,47
• 页数: 5页
• 分类号: TH16
• 字数: 3511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2007.10.002

摘要

压电陶瓷驱动器在精密微位移系统中有着广泛的应用,但其固有的迟滞非线性严重影响系统的运动精度,使控制困难.通过数学建模方法建立压电陶瓷的迟滞曲线逆模型,并用此模型对压电陶瓷进行位移补偿,可以有效减小压电陶瓷迟滞非线性对系统精确控制的影响.提出一种用两个压电陶瓷协同驱动微动平台运动的微位移机构,通过基于迟滞逆模型的开环控制方法,对压电陶瓷位移进行误差补偿,可以实现微动平台运动与控制信号较好的线性对应关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔红娟	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	10	122	6.0	10.0
2	陈志华	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	14	130	6.0	11.0
3	王宏亮	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	1	11	1.0	1.0