一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析

• 作者: 何国荣 吴旭明 曹玉莲 王小东 王青 谭满清
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 调谐 滤波器
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 117-121
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 3190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.01.025

摘要

提出了一种微光机电系统(MOEMS)可调谐滤波器结构,该结构采用GaAs/AlGaAs作为下分布布拉格反射镜(DBR),GaAs和SiO2/Si介质膜作为上DBR,空气作为腔.按照波分复用系统的性能要求对MOEMS可调谐滤波器各项参数,如带宽、峰值透射率、挠度和调谐速度等进行了分析和设计.研究了挠度和调谐速度与梁厚度、宽度、长度等参数的关系.结果表明挠度与长度成正方向变化,同梁厚度、宽度成反方向变化,而调谐速度与各参数的关系恰好相反.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭满清	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	24	136	8.0	10.0
2	王青	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	83	1420	20.0	35.0
3	曹玉莲	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	15	78	5.0	8.0
4	吴旭明	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	9	50	3.0	6.0
5	王小东	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	8	38	4.0	6.0
6	何国荣	中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室	10	50	3.0	6.0