沉积参数对CVD金刚石晶粒尺寸的影响

• 作者: Askari J 佟玉梅 兰昊 吕反修 唐伟忠 宋建华 戴风伟 李彬 李成名 陈广超 黑立富
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 晶粒尺寸 等离子体喷射CVD
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 348-351
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1050字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.088

摘要

采用DC Arc Plasma Jet CVD方法制备了金刚石自支撑膜体,考察了温度分布、沉积腔压和CH4/H2等沉积参数对所制备金刚石膜体中的晶粒尺寸的影响.实验发现沿温度降低的方向和增加腔压会使晶粒尺寸变大,当CH4/H2超过15%后,有带刻面的晶粒出现.本次实验最大的晶粒对角线长度超过1mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修		151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠		106	860	16.0	21.0
3	陈广超		27	235	9.0	14.0
4	宋建华		29	265	11.0	14.0
5	黑立富		39	153	6.0	10.0
6	佟玉梅		22	268	10.0	15.0
7	李彬		16	252	7.0	15.0
8	兰昊		1	3	1.0	1.0
9	戴风伟		1	3	1.0	1.0
10	Askari J		1	3	1.0	1.0
11	李成名		1	3	1.0	1.0