MEMS薄膜吸合电压在线测试系统设计

• 作者: 刘祖韬 李伟华 李巧萍 聂萌
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 在线测试 吸合电压 数据采集
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 数据采集与处理
• 页码范围: 12-14,20
• 页数: 4页
• 分类号: TP206
• 字数: 3036字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2007.01.005

摘要

为了实现MEMS薄膜材料参数的在线测试,设计了MEMS薄膜吸合电压在线测试系统.该测试系统由测控软件、测试硬件平台与测试微结构构成,能够全自动地快速完成薄膜吸合电压的在线测试,并立即输出薄膜的杨氏模量与残余应力.测试系统最大可测试100 V的吸合电压,测试精度为±1.0 V.最后对由标准牺牲层加工工艺制作的多晶硅双端固支梁进行了测试实验,并给出了测试数据,实验结果表明本测试系统具有高精度、快速测试的优点,适合于工业生产的大批量测试需求.