高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵

• 作者: 何国荣 宋国峰 曹玉莲 渠红伟 王青 陈良惠 韦欣 马文全
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直腔面发射激光器 列阵 阈值电流 发散角 大功率
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1803-1806
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2073字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.11.025

摘要

报道了980nm高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵的研制.列阵单元为蜂窝状密堆积排列,单元台面直径为70μm,氧化孔径为30μm,相邻单元间隔为100μm.制作了含7,19,37个单元的列阵,讨论了它们的阈值电流和远场特性.在室温连续工作条件下,3种列阵的最大输出功率分别为0.26,0.5和0.6W.其中含37个单元的列阵在6A脉冲电流(脉宽30μs,重复频率100Hz)激发下,输出功率达到1.4W.