氢在化学气相沉积制备碳材料过程中的作用

• 作者: 张力 徐幸梓 曾丁丁 陈玉安 韩志范
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 化学刻蚀 溅射刻蚀 脱氢
• 年，卷（期）: 2007,（z2）
• 所属期刊栏目: 纳米合成材料与技术
• 页码范围: 19-20,23
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 2467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2007.z2.008

摘要

化学气相沉积是目前广泛用于制备碳材料如纳米金刚石、碳纳米管、碳纳米尖端等材料的技术.在制备这些碳材料时,氢气是一种主要的反应气体,它形成的原子氢或离子氢在材料生长过程中对所形成的碳材料具有刻蚀作用,以及与碳材料表面上或内部的氢作用发生脱氢反应.但在不同的条件下,氢表现出刻蚀作用或脱氢作用.总结了氢在不同条件下的作用,提出了一些生长高质量碳材料的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张力	重庆大学材料科学与工程学院	288	2268	21.0	31.0
2	徐幸梓	重庆大学材料科学与工程学院	15	63	4.0	7.0
3	曾丁丁	重庆大学材料科学与工程学院	11	55	5.0	7.0
4	陈玉安	重庆大学材料科学与工程学院	33	431	10.0	20.0
5	韩志范	重庆大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0