基于有限元分析QCM电极尺寸的优化设计

• 作者: 张培仁 蒋海峰
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: QCM 振动模 有限元 能陷
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 2182-2186
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 3319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.10.009

摘要

提出了一种优化石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance,简称QCM)结构、抑制寄生振动模的设计方法.用Ansys9.0有限元软件直接对QCM进行三维有限元分析,从而避免了一般解析和半解析中对控制方程的简化.首先通过对QCM谐振频率收敛性的分析,验证了有限元计算的正确性;然后分析了不同电极尺寸对QCM振动及能陷情况的影响,并找到了较佳的电极尺寸;最后针对不同电极尺寸的QCM进行了液体测量实验,实验结果验证了基于有限元分析QCM电极尺寸设计方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张培仁	中国科学技术大学自动化系	86	1264	18.0	32.0
2	蒋海峰	中国科学技术大学自动化系	5	43	5.0	5.0