基于Labview技术的光度式椭偏测厚仪的研究与设计

• 作者: 岳泉 张波 张牧 张诚 王金海 陈才和
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 椭偏仪 光度法 虚拟仪器 Labview C8051F020
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 170-173
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2788字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.01.045

摘要

本文介绍了一种基于Labview的光度式椭偏仪光学测量系统,用于进行透明薄膜厚度的精确测量.研究并推导出该系统的数学模型及椭偏参数的计算公式.基于C9051F020单片机设计出椭偏仪的控制器并使用Labview编写了测量软件.在测量软件中嵌入Matlab Script节点,完成复杂运算.通过对SiO2薄膜的测试,验证了仪器具有良好的可靠性和重复性,薄膜厚度误差小于100 A,折射率误差小于0.01.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王金海		106	543	11.0	17.0
5	陈才和	天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室	34	360	11.0	18.0
6	张诚		41	185	8.0	10.0
7	张牧		25	102	6.0	8.0
8	张波		9	58	5.0	7.0
9	岳泉		8	50	5.0	7.0