RF-500型CVD镀膜机计算机控制系统

• 作者: 孔祥玲 徐香坤 王庆
• 来源期刊: 工业控制计算机
• 学科: 工学
• 关键词: CVD镀膜机 温度 气体流量 计算机控制 精度
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 测控系统
• 页码范围: 14-15
• 页数: 2页
• 分类号: TP3
• 字数: 1894字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-182X.2007.09.006

摘要

针对RF-500型CVD镀膜机传统的电气控制缺点,开发了基于PC-PLC的RF-500型CVD镀膜机计算机控制系统.介绍了RF-500型CVD镀膜机的结构以及工作原理;并对该控制系统的硬件结构和软件功能进行了描述.对该控制系统的控制效果进行了大量的实验研究,研究结果表明:基片温度控制精度达到±1℃、工作(反应)气体的流量控制精度达到10mL、可以进行精确的开关量控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庆	东北大学机械工程与自动化学院	47	245	8.0	13.0
2	徐香坤	沈阳理工大学应用技术学院	13	23	3.0	4.0
3	孔祥玲	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司研发部	6	8	2.0	2.0