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BOC EDWARDS推出用于化合物半导体工艺的尾气处理系统SPECTRA-G<sup>TM</sup>
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摘要：
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Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体量子结构材料和器件的研究与发展
Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体
量子结构
激子效应
量子尺寸效应
Ⅲ/Ⅴ族化合物半导体器件的空间应用可靠性
失效机制
质量鉴定
辐射效应
弹簧钢SUP9D超声探伤缺陷分析
SUP9D弹簧钢
超声探伤
夹杂物
中间包
SUP-13配合比设计中若干问题的探讨
SUP-13
配合比
设计方法
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2007(0)
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研究主题发展历程
节点文献
尾气处理
BOC
EDWARDS
SPECTRA-G
TM
化合物半导体
MOCVD
燃料成本
氧化物颗粒
燃烧产物
洗涤塔
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
主办单位：
中国半导体行业协会分立器件分会
中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
16开
出版地：
南京市1601信箱43分箱（南京市中山东
邮发代号：
创刊时间：
1990
语种：
chi
出版文献量（篇）
5953
总下载数（次）
11
总被引数（次）
664
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