激光微细熔覆快速制造微加热器阵列

• 作者: 曹宇 曾晓雁 李祥友 王小宝 王少飞
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光微细熔覆 微加热器阵列 温度
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 1567-1570
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|TG665
• 字数: 1594字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.11.022

摘要

采用激光微细熔覆法制备了2×2和1×4微加热器阵列,研究了激光扫描功率和速率对微加热器图形线宽的影响.结果表明,线宽随激光功率增大而增大;随扫描速率增大而减小.并对2×2微加热器阵列进行了性能测试.研究了加热时间、电压和空间位置对温度的影响规律.结果表明,微加热器温度随加热时间的延长而升高并最终达到稳定值;随电压的增加而升高;加热区域离微加热器越远,温度越低.对恒定电压下的升温速率进行了计算和测定,第一分钟内加热速度可达0.45℃/s.最后,给出了所制作的微加热器及其阵列的示例.